قایق های تبخیر در کوره های خلاء عالی

Evaporation Boat یک کوره خلاء برای دستیابی به اجزای اصلی پوشش تبخیر مواد است ، عملکرد آن حمل تبخیر مواد و تبخیر آن با گرمایشی است که در یک محیط خلاء قرار می گیرد تا یک فیلم نازک تشکیل شود. موارد زیر از صحنه برنامه ، خصوصیات مواد ، نقاط فنی و برنامه های صنعت و سایر جنبه های تجزیه و تحلیل دقیق قایق تبخیر در برنامه های کوره خلاء:

یک صحنه برنامه اصلی

1. رسوب فیلم نازک و آماده سازی پوشش پوشش کوره از طریق مواد تبخیر شده از طریق تبخیر قایق مواد تبخیر شده (فلزات ، آلیاژها ، ترکیبات و غیره) ، به طوری که در یک محیط کم فشار ، تبخیر و رسوب سطح بستر ، آن انزوا ، شکل گیری فیلم های نازک کاربردی ، از جمله: ITSIVIVE \/ ANSULATIVE (TRANPARANT: ALES ، AL ، CU ، AL ، CU ، CU) لایه (sio₂ ، sinₓ) ، که در ساخت تراشه ، تابلوهای مدار ، دستگاه های MEMS استفاده می شود. فیلم های نوری: فیلم های تقویت انتقال (MGF₂) ، فیلم های بازتابی (AG ، AL) ، فیلم های فیلتر (فیلم های دی الکتریک چند لایه) ، که در لنزهای نوری ، دوربین های تلفن همراه ، نمایش داده می شوند. پوشش های عملکردی: پوشش های مقاوم در برابر سایش (قلع ، CRN) ، فیلم های گرمایشی (آلیاژهای فلزی) ، فیلم های مقاوم در برابر خوردگی (PTFE) ، که در شیشه خودرو ، ابزار برش ، اجزای هوافضا استفاده می شود.

2. تصفیه و اصلاح مواد جداسازی مواد با خلوص بالا: استفاده از مواد مختلف با فشار بخار مختلف ، از طریق گرمایش قایق تبخیر برای دستیابی به تصفیه عناصر خاکی نادر (مانند ND ، DY) ، فلزات گرانبها (AU ، PT). درمان دوپینگ سطح: تبخیر دوپانتها (مانند B ، N) در سطح ویفرهای نیمه هادی یا الکترودهای باتری ، برای بهبود خواص الکتریکی یا نوری مواد.

دوم ، نقاط فنی و الزامات طراحی

1. کنترل دما و یکنواختی قایق تبخیر با گرمایش مقاومت یا گرمایش بمباران پرتو الکترونی ، نیاز به تنظیم دما با توجه به فشار بخار مواد (مانند دمای تبخیر آل در حدود 1200 درجه ، AU در حدود 1400 درجه).

طراحی بدنه قایق (مانند عمق شیار ، زاویه شیب) برای اطمینان از اینکه تبخیر مواد به طور یکنواخت گرم می شوند ، برای جلوگیری از گرمای موضعی ناشی از پاشیدن یا فرار ناخالصی.

2. محیط خلاء تطبیق خلاء (معمولاً {1}} ³ ~ 10- ⁶ pa) می تواند نقطه جوش مواد را کاهش دهد ، ضمن جلوگیری از اکسیداسیون ، میزان تبخیر را بهبود بخشد. مواد قایق تبخیر باید در زیر خلاء زیاد پایدار باشند ، مانند قایق گرافیت برای جلوگیری از اکسیداسیون درجه حرارت بالا (نیاز به پر شدن با گاز بی اثر مانند AR).

5. سازگاری شیمیایی برای جلوگیری از تبخیر مواد و واکنش قایق: به عنوان مثال ، تبخیر روی ، مواد حاوی S ، نباید از قایق مولیبدن استفاده کند (به راحتی می توان یک نقطه ذوب کم را تشکیل داد و منجر به خوردگی شود). تبخیر نیترید قایق نیترید بور ، برای جلوگیری از بدنه قایق فلزی و واکنش عنصر N برای تولید ناخالصی ها.

4. چرخه زندگی و جایگزینی پس از استفاده طولانی مدت ، قایق ممکن است به دلیل فرسایش ذوب مواد ، باقیمانده تبخیر یا خرابی تغییر شکل ، نگهداری منظم (مانند تمیز کردن اولتراسونیک) یا جایگزینی برای اطمینان از ثبات کیفیت پوشش باشد. برنامه های کاربردی صنعت معمولی

1. ساخت تراشه نیمه هادی و میکروالکترونیک: تبخیر AL ، تهیه مس الکترودهای مدار یکپارچه ، با استفاده از قایق مولیبدن یا قایق تنگستن. رسوب لایه عایق Sio₂ می تواند قایق گرافیتی اختیاری یا قایق نیترید بور (برای جلوگیری از آلودگی فلز) باشد. دستگاه های برق: استفاده از تبخیر قایق نیترید Boron Gan ، Aln ، تهیه لایه اپی کلیسای ترانزیستور تحرک بالا (HEMT) ، برای جلوگیری از معرفی ناخالصی ها در بدنه قایق فلزی.

2. اپتیک و نمایش فناوری نمایش دقیق اجزای نوری: تبخیر قایق تنگستن AG ، آماده سازی آینه ها ، تبخیر قایق گرافیتی MGF₂ ، SiO₂ تهیه فیلم تقویت انتقال ، برای اطمینان از یکنواختی فیلم و سرعت کم.

OLED و MINI-LED: تبخیر قایق نیترید بور از مواد انتشار نور آلی (مانند پیچیده IR) یا نقاط کوانتومی ، برای جلوگیری از مواد بدن قایق و مولکول های آلی واکنشی ، برای تقویت عمر دستگاه.

3. سلولهای خورشیدی میدان انرژی جدید: مولیبدن قایق تبخیر AG دوغاب الکترود ، فیلم کاهش رسوب قایق گرافیتی. در باتری کالکوژنید ، برای جلوگیری از آلودگی توسط بخار آب و ناخالصی ها ، ید فرمامیدین-سرب (FAPBI₃) Evaporation Formamidine-Lead (FAPBI₃).

4. باتری های لیتیوم یون: تبخیر قایق Tantalum LI آماده سازی فلزات باتری با حالت جامد ، استفاده از مقاومت در برابر خوردگی لیتیوم. تبخیر آند مبتنی بر سیلیکون اصلاح شده B ، N برای تقویت عملکرد دوچرخه سواری.

5. تجهیزات سطح بالا و پوشش ابزار هوافضا: تبخیر قایق تنگستن Ti ، قلع آماده سازی CR ، پوشش سخت CRN ، بهبود مقاومت سایش ابزار. تبخیر قایق نیترید بور از پیش ساز الماس ، تهیه فیلم DLC مورد استفاده در یاتاقان های حمل و نقل هوایی.

درمان آلیاژ درجه حرارت بالا: تبخیر AL ، Y و سایر عناصر توسط قایق مولیبدن در کوره خلاء برای تشکیل پوشش های آنتی اکسیدانی (مانند پوشش آلومینا) برای تیغه های موتور هوایی.

شرکت New Material Shengyang ، آموزشی ویبولیتین متعهد به تولید محصولات فرآوری شده نیترید بور و نیترید بور است و می تواند با توجه به نیاز مشتری ، قطعات سرامیکی عایق نیترید بور را سفارشی کند. در صورت لزوم با ما تماس بگیرید.
تلفن: +8618560961205
ایمیل: sales@zbsyxc.com