سنتز فاز بخار شیمیایی نیترید بور

در سال 1979 ، سوكولوفسكي با موفقيت از تكنولوژي پلاسماي پالس براي تهيه فيلم هاي نيتريد بور مكعبي (CBN) در دما و فشار كم استفاده كرد. تجهیزات مورد استفاده ساده و تحقق فرآیند آن آسان است ، بنابراین به سرعت توسعه یافته است. انواع روشهای رسوب بخار پدید آمده است. به طور سنتی ، این امر عمدتا به رسوب بخار شیمیایی حرارتی اشاره دارد. دستگاه آزمایشی معمولاً از یک لوله کوارتز مقاوم در برابر حرارت و یک دستگاه گرم کننده تشکیل شده است. بستر را می توان با کوره گرمایش (CVD دیواره گرم) یا گرمایش القایی با فرکانس بالا (CVD جداره سرد) گرم کرد. گاز واکنش در سطح بستر دمای بالا تجزیه می شود و همزمان واکنش شیمیایی برای رسوب یک فیلم رخ می دهد. گاز واکنش گاز مخلوط BCl است₃ یا ب₂H₄و NH₃.